康晨希供應(yīng)LEYBOLD真空泵半導(dǎo)體行業(yè)正持續(xù)迅速的發(fā)展著,為能滿足客戶對產(chǎn)品和工藝快速不斷變化的需求,我們與客戶之間的溝通從未象今天這樣如此重要。真空設(shè)備在所有半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中發(fā)揮著極為重要的作用,針對特殊的生產(chǎn)要求必須選擇適合的真空設(shè)備。
許多年來,萊寶公司一直對于真空技術(shù)基礎(chǔ)的研究和發(fā)展大量投入,總投入已達到我們總收入的10%,這也是萊寶能提供頗具有吸引力新型真空產(chǎn)品的重要原因。
發(fā)展新技術(shù)的過程中,萊寶不僅以產(chǎn)品的實際應(yīng)用為導(dǎo)向,而且更加關(guān)注產(chǎn)品的整體質(zhì)量。所有的泵及其附件在開發(fā)階段,必定經(jīng)過特殊的壓力與持久性測試。萊寶與萊寶所有供應(yīng)商的生產(chǎn)過程,都處于持續(xù)監(jiān)控之中,以保證任何可能出現(xiàn)的產(chǎn)品缺陷都將在早期生產(chǎn)階段被檢測并及時消除。
抽速:10立方米每小時~1400立方米每小時
極限真空度:
SV10B,SV16B,SV25B,SV40B,SV65B,SV100B極限真空度為
<0.5mbar (無氣鎮(zhèn)分壓強)
<1.5mbar (帶氣鎮(zhèn)分壓強)
SV200,SV300,SV500,SV630/B/BF,SV750/B,SV1200,SV1400的極限真空度為
<8×10負二次方mbar (無氣鎮(zhèn)分壓強)
<7×10負一次方mbar (帶氣鎮(zhèn)分壓強)
排水蒸氣能力:0.3~23公斤/小時
康晨希供應(yīng)LEYBOLD真空泵
1、*的排除水蒸氣的能力。
2、出口油霧過濾器為標準配置,真空泵油循環(huán)使用,無油煙,清潔、環(huán)保、省油。
3、可以在進口壓力為大氣壓的情況下連續(xù)工作。
4、在低壓強下仍能保持高的抽速。
5、內(nèi)置自動防返油閥。
6、SV630以下為風冷,不需要水冷,經(jīng)濟方便。
7、低噪音,低振動。
8、結(jié)構(gòu)緊湊,體型小,節(jié)省空間。
9、可以與各種附件配套使用,因而可以滿足各種不同應(yīng)用的需要。
主要技術(shù)參數(shù)為:
抽速?1.6m3/h?65m3/h
極限真空度?10-4mbar(無氣鎮(zhèn)分壓強) 2×10-3mbar(無氣鎮(zhèn)全壓強) 5×10-3mbar(帶氣鎮(zhèn)全壓強) 耐水蒸汽能力?25mbar?40mbar
歐瑞康萊寶的TRIVAC B系列雙級油封旋片泵的主要特點?
1、內(nèi)置油泵?對泵腔進行強制潤滑。因此可以在入口壓強為大氣壓的情況下連續(xù)工作。
2、內(nèi)置自動防返油閥?可在停泵時自動將進氣口截止?防止返油。
3、進氣口和排氣口有水平或垂直兩種安裝方式。
4、*的耐水蒸汽能力。
另外?歐瑞康萊寶的TRIVAC B家族中還有以下用于特殊用途的真空泵。 -
(1)專門用于汽車剎車油注入的TRIVAC D16 B-DOT。 -
(2)用于制冷行業(yè)中充注R290和R600A冷媒的防爆泵TRIVAC D168B-EX?ATEX認證防爆泵。 -
(3)用于半導(dǎo)體行業(yè)的防腐蝕泵TRIVAC BCS系列。
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